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Vacuum Cluster System
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Wafer Transfer System |
Optima Series |
Specialized LoadLock
2층 Load Lock은 웨이퍼 처리능력을 극대화할 수 있습니다.
Features
Specifications
Pre-heating/cooling Plate(option)
Load Lock 챔버에 예열/냉각 기능을 추가하여 웨이퍼 처리량을 크게 향상시켰습니다.
Cooling Module
Wafer Pre-heating in LL
Photo Ionizer removing static electricity(option)
웨이퍼가 Load Lock에 머무는 동안 Soft X-ray에 의하여 이온화된 N2 가스를 웨이퍼 표면에 분사하여 웨이퍼의 정전기를 제거함으로써 웨이퍼 표면에 Particle이 부착되는 것을 방지할 수 있습니다.
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