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Wafer Transfer System


제품소개


Vacuum Pod Transfer System

Vacuum Pod Transfer System

반도체 소자의 초미세 집적화로 인하여 외부에 노출된 기판의 오염 또는 산화 문제는 제품의 수율 및 공정 불량의 주요 원인이며,  이를 해결하기 위하여 개발된 제품으로 외부 공기를 완전히 차단하여 공정 중 웨이퍼의 산화 또는 오염을 방지할 수 있는 진공 환경에서 웨이퍼 이송이 가능한 시스템입니다.


Vacuum Chamber Type

  Features

  • Equipment including EFEM and LPM, to transfer 300mm wafer into Vacuum Pod
  • Vacuum Pod for the prevention of particles contamination and native oxidation
  • In Vacuum Chamber type, Vacuum pod is on the rear of EFEM

Vacuum LPM type

  Features

  • Equipment including EFEM and LPM, to transfer 300mm wafer into Vacuum Pod
  • Vacuum Pod for the prevention of particles contamination and native oxidation
  • In Vacuum LPM type, Vacuum Pod is in front of EFEM for minimizing footprint

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