Wafer Transfer Robot

고객의 요구사항과 연계한 제품 선택 및 로봇 개발 상담이 가능합니다.

Fast Swap Arm Sets, 연속 회전, 적합한 Servo 제어의 결합을 통하여 높은 Throughput과 생산성 향상을 가능하게 합니다. 다양한 구성에서 사용 가능하며 단일 Cluster Tool이나 Linear 구성의 Process Modules 간에 단일 또는 여러 웨이퍼를 동시에 안전하게 이송(send/return)할 수 있습니다.

  Key Benefits:

• Maximum throughput and productivity
• Best-in-class wafer placement repeatability
• Globally qualified at major fabs
• Available global installation support, training, and services