MAXIMA Series

 Maxima - UHV

Maxima UHV는 고 진공 상태에서 낮은 산소 농도, 최소의 가스 방출 및 수분 함유량 분위기의  특별한 웨이퍼 이송 환경에 적합하도록 설계되었습니다. 또한 웨이퍼 처리량을 크게 하기 위하여 전송 모듈을 8각형(Octagonal Shape)으로 연결하여 Tandem형  으로 구성할 수 있습니다.

  Specifications

• Wafer Placement repeatability : ≤ ± 0.1 mm
• Base Pressure : 10^-3Torr(Available for 10^-8Torr)
• Particle  : ≤ 5 ea @40nm
• SEMI / MESC Compatible CE Mark and SEMI S2