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Vacuum Cluster System

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Wafer Transfer System


제품소개


MAXIMA Series

 Maxima - UHV

Maxima UHV는 고 진공 상태에서 낮은 산소 농도, 최소의 가스 방출 및 수분 함유량 분위기의  특별한 웨이퍼 이송 환경에 적합하도록 설계되었습니다. 또한 웨이퍼 처리량을 크게 하기 위하여 전송 모듈을 8각형(Octagonal Shape)으로 연결하여 Tandem형  으로 구성할 수 있습니다.

  Features

  • Single or dual wafer transfer from batch loadlock to single or twin wafer PM

         - Low oxygen content

         - Low outgassing and moisture 


  • Specially designed transfer chamber and  25 wafers batch loadlock
  • Field proven vacuum robot with AWC feature

  Specifications

  • Wafer Placement repeatability : ≤ ± 0.1 mm
  • Base Pressure : 10-3Torr(Available for 10-8Torr)
  • Particle  : ≤ 5 ea @40nm
  • SEMI / MESC Compatible CE Mark and SEMI S2

코스텍시스템(주) 경기도 평택시 서탄면 방꼬지길 231

TEL : 031-646-1500  FAX : 031-646-1515

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