Semiconductor Equipment |
Semiconductor Equipment |
Vacuum Cluster System
Home > ์ ํ์๊ฐ > Semiconductor Equipment > Wafer Transfer System > Vacuum Cluster System > Maxima Series > Maxima-UHV
Wafer Transfer System |
์ ํ์๊ฐ
Maxima Series |
Maxima - UHV
Maxima UHV๋ ๊ณ ์ง๊ณต ์ํ์์ ๋ฎ์ ์ฐ์ ๋๋, ์ต์์ ๊ฐ์ค ๋ฐฉ์ถ ๋ฐ ์๋ถ ํจ์ ๋ ๋ถ์๊ธฐ์ ํน๋ณํ ์จ์ดํผ ์ด์ก ํ๊ฒฝ์ ์ ํฉํ๋๋ก ์ค๊ณ๋์์ต๋๋ค. ๋ํ ์จ์ดํผ ์ฒ๋ฆฌ๋์ ํฌ๊ฒ ํ๊ธฐ ์ํ์ฌ ์ ์ก ๋ชจ๋์ 8๊ฐํ(Octagonal Shape)์ผ๋ก ์ฐ๊ฒฐํ์ฌ Tandemํ ์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑํ ์ ์์ต๋๋ค.
Specifications
์ฝ์คํ ์์คํ (์ฃผ) ๊ฒฝ๊ธฐ๋ ํํ์ ์ํ๋ฉด ๋ฐฉ๊ผฌ์ง๊ธธ 231
TEL : 031-646-1500 FAX : 031-646-1515
Email : Sales@kosteks.com
© 2022 KOSTEK SYSTEMS, INC. All Rights Reserved.
์ฝ์คํ ์์คํ (์ฃผ) ๋ํ์ด์ฌ : ๋ฐฐ์คํธ ์ฃผ์ : ๊ฒฝ๊ธฐ๋ ํํ์ ์ํ๋ฉด ๋ฐฉ๊ผฌ์ง๊ธธ 231
TEL : 031-646-1500 FAX : 031-646-1515 Email : Sales@kosteks.com
© 2022 KOSTEK SYSTEMS, INC. All Rights Reserved.