OPTIMA Series

OPTIMA 시리즈는 우수한 성능과 높은 웨이퍼 처리량에 최적화되어 있습니다. 특히 ALD와 같은 장시간 공정 Time을 필요로 하는 공정 장비를 구성하는데 적합합니다.

  Features

• High throughput available with dual transfer module for various processes
• Suitable for long process time such as ALD
• Field proven vacuum robot with AWC feature

  Specifications

• Wafer Placement repeatability : ≤ ± 0.1 mm
• Base Pressure : 10^-3Torr(Available for 10^-7Torr)
• Particle  : ≤ 5 ea @40nm
• UPEH :   152   wafers/h
• Compatibility of SEMI / MESC
• Satisfaction of CE Mark and SEMI S2