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Vacuum Cluster System
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Wafer Transfer System |
Maxima Series |
MAXIMA 시리즈는 우수한 성능과 높은 처리량을 위하여 설계되었으며, 특화된 다양한 Option을 제공합니다. 최대 6개의 프로세스 모듈을 구성할 수 있어 특히, 고 진공 및 고온 공정을 필요로 하는 공정 장비의 생산성을 크게 향상시킬 수 있습니다.
Features
Specifications
코스텍시스템(주) 경기도 평택시 서탄면 방꼬지길 231
TEL : 031-646-1500 FAX : 031-646-1515
Email : Sales@kosteks.com
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