MAXIMA Series

MAXIMA 시리즈는 우수한 성능과 높은 처리량을 위하여 설계되었으며, 특화된 다양한 Option을 제공합니다. 최대 6개의 프로세스 모듈을 구성할 수 있어 특히, 고 진공 및 고온 공정을 필요로 하는 공정 장비의 생산성을 크게 향상시킬 수 있습니다.

  Features

• Providing up to 8 sided transfer chamber
• 2 slotted LL or  25 wafers batch LL
• Available to apply pre-heat and post cool in LL chamber (option)  
• Field proven vacuum robot with AWC feature

  Specifications

• Wafer Placement repeatability : ≤ ± 0.1 mm
• Base Pressure : 10^-3Torr(Available for 10^-8Torr)
• Particle  : ≤ 5 ea @40nm
• UPEH :   148   wafers/hr
• SEMI / MESC Compatible
• CE Mark and SEMI S2 Satisfied