Load Port Module

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Wafer Transfer System


LPM은 반도체 웨이퍼가 들어 있는 FOUP(Front Opening Universal Pod)의 도어를 자동으로 개폐하고 웨이퍼가 반송될 수 있도록 하는 장치입니다. 적용 사양 및 웨이퍼 처리량에 따라 채택할 수량을 결정하며 FOUP 내부의 오염 방지를 위한 N2 Purge LPM을 구비하고 있습니다.

  • High-reliability design delivers trouble-free operation over a long period of time.
  • Easy positioning mechanism to reduce installation time for mounting and dismounting
  • N2 Purging into the FOUP
  • Compatible with extra N2 Purge/Stage Kit  (Easy Maintenance) 

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