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Load Port Module
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Wafer Transfer System |
LPM은 반도체 웨이퍼가 들어 있는 FOUP(Front Opening Universal Pod)의 도어를 자동으로 개폐하고 웨이퍼가 반송될 수 있도록 하는 장치입니다. 적용 사양 및 웨이퍼 처리량에 따라 채택할 수량을 결정하며 FOUP 내부의 오염 방지를 위한 N2 Purge LPM을 구비하고 있습니다.
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