Semiconductor Equipment |
Semiconductor Equipment |
Load Port Module
Home > ์ ํ์๊ฐ > Semiconductor Equipment > Wafer Transfer System > Load Port Module
Wafer Transfer System |
์ ํ์๊ฐ
LPM์ ๋ฐ๋์ฒด ์จ์ดํผ๊ฐ ๋ค์ด ์๋ FOUP(Front Opening Universal Pod)์ ๋์ด๋ฅผ ์๋์ผ๋ก ๊ฐํํ๊ณ ์จ์ดํผ๊ฐ ๋ฐ์ก๋ ์ ์๋๋ก ํ๋ ์ฅ์น์ ๋๋ค. ์ ์ฉ ์ฌ์ ๋ฐ ์จ์ดํผ ์ฒ๋ฆฌ๋์ ๋ฐ๋ผ ์ฑํํ ์๋์ ๊ฒฐ์ ํ๋ฉฐ FOUP ๋ด๋ถ์ ์ค์ผ ๋ฐฉ์ง๋ฅผ ์ํ N2 Purge LPM์ ๊ตฌ๋นํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
|
|
์ฝ์คํ ์์คํ (์ฃผ) ๊ฒฝ๊ธฐ๋ ํํ์ ์ํ๋ฉด ๋ฐฉ๊ผฌ์ง๊ธธ 231
TEL : 031-646-1500 FAX : 031-646-1515
Email : Sales@kosteks.com
© 2022 KOSTEK SYSTEMS, INC. All Rights Reserved.
์ฝ์คํ ์์คํ (์ฃผ) ๋ํ์ด์ฌ : ๋ฐฐ์คํธ ์ฃผ์ : ๊ฒฝ๊ธฐ๋ ํํ์ ์ํ๋ฉด ๋ฐฉ๊ผฌ์ง๊ธธ 231
TEL : 031-646-1500 FAX : 031-646-1515 Email : Sales@kosteks.com
© 2022 KOSTEK SYSTEMS, INC. All Rights Reserved.