Equipment Front End Module

EFEM은 최대 4개의 로드 포트, 2개의 대기 로봇, 2개의 버퍼 장치, 2개의 웨이퍼 센터링 및 그립핑 정렬 장치로 구성되며  2개의 팬 필터 장치가 장착되어 EFEM 내부를 청결하게 유지합니다.

  Features

• Various atmospheric robots and pre-aligners adoptable single arm, dual arm, flip robot, etc.
• Passive end effector with GN-PAD  →  Prevention of wafer chipping, particle
• Automatic and accurate wafer alignment with several types of pre-aligners.
• Reliable load port modules & N2 purged FOUP(option).
• Samsung & SK Hynix spec. satisfaction in accordance with SEMI standard
• Easy integration with all process and metrology equipment.