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Vacuum Cluster System

Home  >  제품소개  >  Semiconductor Equipment  >  Wafer Transfer System  >  Vacuum Cluster System  >  Maxima Series > Specialized Load Lock 

Wafer Transfer System


제품소개


 Specialized LoadLock

2층  Load Lock은 웨이퍼 처리능력을 극대화할 수 있습니다.

  Features

  • Stacked LL Chamber
  • Small Chamber Volume  -  High throughput
  • Slit valve with particle free L motion

 Specifications

  • Chamber : Al 5083
  • Top Lid : Al 508310
  • Slot  : 8 slots (Upper 4 slots, Lower 4 slots) / Ceramic / 10mm pitch
  • Door Valve : L-Motion / AL6061, Viton O-ring

 Pre-heating/cooling Plate(option)

Load Lock 챔버에 예열/냉각 기능을 추가하여 웨이퍼 처리량을 크게 향상시켰습니다.

   Cooling Module

  • PCW Circulation
  • Cooling Plate with Ceramic Ball
  • Cylinder up/down Motion
  • Easy Maintenance

   Wafer Pre-heating in LL

  • Max Temp 300°C
  • Heating Chuck module
  • Pin up/down Motion

 Photo Ionizer removing static electricity(option)

웨이퍼가 Load Lock에 머무는 동안 Soft X-ray에 의하여 이온화된 N2 가스를 웨이퍼 표면에 분사하여 웨이퍼의 정전기를 제거함으로써  웨이퍼 표면에 Particle이 부착되는 것을 방지할 수 있습니다.


코스텍시스템(주) 경기도 평택시 서탄면 방꼬지길 231

TEL : 031-646-1500  FAX : 031-646-1515

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